美国SVT超高真空解理机/解理镀膜机介绍

SVT公司的样品解理部件可以将15mm（其他尺寸可选）的方形样品解理成15个1mm×15mm的Bar条。

所有解理出的bar条被收集到样品托，堆叠在一起进行下一步批量加工。

*设计的解理工具避免了器件被破坏以及样品互相黏在一起的可能性。

此解理工具可*适用于UHV环境。

解理机可以增加钝化层沉积模块。

解理后堆叠在一起的Bar条直接进入钝化室，不用暴露大气。

美国SVT超高真空解理机/解理镀膜机规格

在线bar条解理

加工15mm×15mm 样品（10mm-32mm可选）

加工成15mm×1mm 样品（1mm-5mm宽度可选）

8''法兰接口

可烘烤至180℃，（200℃可选）

样品可以两种方向加工

UHV环境兼容

Cassette装取