1、非接触式测量：避免物件受损。  

2、三维表面测量：表面高度测量范围为1nm---200μm。  

3、多重视野镜片：方便物镜的快速切换。  

4、纳米级分辨率：垂直分辨率可以达0.1nm。  

5、高速数字信号处理器：实现测量仅需几秒钟。  

6、扫描仪：闭环控制系统。  

7、工作台：气动装置、抗震、抗压

8、测量软件：基于windows/Mac/操作系统的用户界面，强大而快速的运算。  

白光干涉仪应用领域：  

1、半导体晶片  

2、液晶产品（CS,LGP,BIU）  

3、微机电系统  

4、光纤产品  

5、数据存储盘（HDD,DVD,CD）  

6、材料研究  

7、精密加工表面  

8、生物医学工程